СМИ

Разработка первого полностью российского литографа завершена, оборудование проходит испытания. Это беспрецедентная новость — ничего подобного на постсоветском пространстве нет и не было. И, несмотря на вал язвительных комментариев, сравнить событие можно разве что с выходом человека в космос. Россия вступает в новую технологическую эру. Первый отечественный литограф Замминистра промышленности и торговли РФ Василий Шпак сообщил журналистам ТАСС о готовности первого русского литографического сканера на 350 нм, разработанного по заказу Минпромторга Зеленоградским нанотехнологическим центром. Разработка велась с 2022 года. «Первый отечественный литограф мы собрали, сделали. Он сейчас проходит уже испытания в составе технологической линейки в Зеленограде». Любители ругать всё российское тут же набросились на эту новость: мол, технология устаревшая, кому она сейчас нужна. Но в действительности она как раз нужна, причем во многих отраслях, и критики бы об этом знали, если бы хоть немного вникли в вопрос. Начнем с того, что создавать такое оборудование умеют лишь несколько компаний в мире: знаменитая нидерландская ASML и японские Canon и Nikon. Так что шутки в сторону. Освоить даже не самый новый техпроцесс — просто огромный шаг, и справились с этим всего две страны в мире, в число которых США не входят. По словам Шпака, к 2026 году должен появиться опытный образец литографа на 130 нм. А к 2028-му специалисты собираются освоить 28 нм, говорил ранее руководитель Национального центра физики и математики в Сарове, академик РАН Александр Сергеев. Но и с нынешними возможностями у России есть где развернуться. Запустить 350-нм сканер в серию планируют в конце 2025 году. «Зрелый техпроцесс» 350 нм — не такая уж древняя технология, как кажется. Ее применяют в энергетике, автомобилях, военной сфере и т. д. «…в профессиональной среде это называется “зрелый техпроцесс”, а зрелый техпроцесс используется … для профессиональной микроэлектроники, такой как микроконтроллеры, которые используются в системах управления различных промышленных объектов, промышленной электроники не только для гражданской, но и для специальной военной техники», — сказал директор Консорциума отечественных разработчиков систем хранения данных Олег Изумрудов (BFM.ru). Да, акцент нынче смещается в сторону более тонких техпроцессов, однако около 30% рынка приходится на чипы 90 нм. При этом даже со сканером 350 нм можно производить относительно современные чипы. В материале «Свободной прессы» говорится, что зеленоградский литограф способен работать по техпроцессу 90 нм. А тем временем в России продолжаются работы по совершенно новой литографии с другими источниками излучения и системами позиционирования. Переход на 7 нм В Нижнем Новгороде разрабатывается литограф для 7-нм чипов. «Альфа-машина» должна появиться уже в этом году, «бета» — в 2026-м. А на финальной стадии, до 2028 года оборудование получит более мощный источник излучения, улучшенные системы позиционирования и подачи и начнет полноценно работать. Ожидается, что российский сканер будет в 1,5-2 раза эффективнее литографа ASML, но при этом компактнее и чище в работе. Ближайшее десятилетие станет эпохой восстановления суверенитета России в микроэлектронике. К 2030 году планируется импортозаместить 70% техники: «В целом планируем к 2030 году заместить около 70% всех видов оборудования и материалов, используемых в базовых технологических процессах», — заявил глава Минпромторга Денис Мантуров на форуме «Микроэлектроника-2023» (ТАСС).